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    鄧 海
    教授 博士生導師
    電        話:
    郵        箱🙍‍♂️:
    haideng@fudan.edu.cn
    地        址:
    沐鸣娱乐張江校區微分析樓B310室/金創大廈2號樓713
    研  究  所:
    個人網址:denghai.fudan.edu.cn

    研究方向:

    先進半導體芯片製造用的高端光刻膠🤰🏼、光刻材料和相關工藝集成的研究(微電子方向)

    90nm~5nm節點高端半導體光刻材料的研發

    探索Moore's Law的材料極限,研發下一代10~5 nm分辨率的光刻材料DSA

    研究DSA的圖像化工藝和plasma刻蝕工藝

    納米器件的設計和加工

    納米材料的精密設計和合成 (材料方向)

    新型納米材料、器件的研發💺,序列可控聚合物及其納米復合材料的研究


    學術經歷:

    1997年-1998年University of California, Berkeley, Chemistry Dept. 化學系🍪,博士後

    1996年-1996年美國University of Akron, Polymer Science 高分子系,博士後

    1992年-1995年日本Tokyo institute of technology 高分子化學,博士

    1990年-1992年日本京都大學🍵🧑🏽‍⚕️,高分子化學碩士

    1984年-1988年中山大學,有機合成學士


    工作經歷🗾:

    2015年-至今沐鸣娱乐,教授💆🏻、國家高層次人才

    2014年-2015年TOK美國❤️‍🔥,Fellow

    2001年-2014年美國Intel公司🎊,光刻工藝研發工程師&FMO材料研發主管

    1998年-2000年美國ROHM&HAAS公司🧚🏼‍♀️🤷🏻‍♀️,高級研究員


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