研究方向🚵‍♀️：

新結構集成電路邏輯、存儲、傳感器件及其芯片設計

集成電路先導工藝與器件，包括原子層澱積、銅互連技術等

高性能存儲器件🏃‍♀️，包括半浮柵晶體管、阻變存儲器等

晶圓級二維半導體材料👩🏼‍⚖️、器件及其電路應用

教育背景：

2007年-2008年德國漢諾威大學🧚🏽‍♀️，訪問學者

2004年09月-2009年06月沐鸣娱乐🚆，微電子學系🧑‍🧒，博士

2000年09月-2004年06月沐鸣娱乐🐺，物理學，學士

學術經歷：

2013年12月-至今沐鸣娱乐🤦🏻，沐鸣🏇🏿🛴，研究員、博士生導師

2011年09月-2013年06月沐鸣娱乐🌔，微電子學系，副研究員

2009年07月-2011年08月沐鸣娱乐🏎❌，微電子學系，講師

榮譽稱號🧕🏽：

基金委優秀青年基金獲得者

上海市優秀學術帶頭人

上海市青年科技啟明星

上海市晨光學者

2016年度獲中國電子學會技術發明獎一等獎（3）

2014年度獲上海市科學技術獎二等獎（4）

主持的國家級項目🤵🏿‍♂️🤧：

國家科技重大專項課題“65-45nm PVD工藝優化的理論和實驗研究”

國家科技重大專項課題“32-22nm高k/金屬柵納米疊層材料製備工藝研究”

自然科學基金委重大科學儀器研製項目課題“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”

國家高技術研究發展計劃（863計劃）子課題“14納米以下技術代矽基新型器件及關鍵工藝技術研究”

自然科學基金優秀青年科學基金“低功耗電子器件”

自然科學基金面上項目“高k介質/拓撲絕緣體界面結構的物理和電學特性研究”

自然科學基金青年基金“原子層澱積柵介質/石墨烯納米疊層的界面和電子結構”