研究方向:
先進集成電路工藝👨👨👦👦👨🏽🎤,如原子層沉積(ALD)納米級功能薄膜
新型氧化物半導體材料與器件,如薄膜晶體管
新型微納結構MEMS器件🚣🏿,如光電🍉、氣體、生物傳感器及能源器件
混合信號和存儲器的集成電路設計
教育背景:
沐鸣娱乐🦽👈🏿,微電子學與固體電子學🎆,博士學位
學術經歷:
2010年7月-至今沐鸣娱乐,副教授、教授
2007年11月-2009年11月東京大學工學部,JSPS研究員
2006年09月-2007年10月意大利微電子材料與器件國家實驗室,博士後
榮譽稱號:
沐鸣娱乐卓學人才
科研獲獎:
上海市科學技術獎(技術發明)二等獎
上海市真空青年創新獎