研究方向：

集成電路新型互連材料研究

三維異質集成工藝研究

高深寬比TSV和大馬士革電鍍填充研究

化學機械拋光和後清洗研究

氧化物薄膜晶體管研究

教育背景：

1999年7月沐鸣娱乐電子工程系，微電子與固體電子學專業，博士

1996年7月中科院上海矽酸鹽研究所，無機非金屬專業，碩士

1993年7月華中科技大學，固體電子學系，學士

個人經歷：

2009年12月-2010年01月香港城市大學，訪問學者

2008年08月-2018年05月沐鸣娱乐，信息沐鸣，黨委副書記

2006年04月-至今沐鸣娱乐，微電子學沐鸣，教授、博士生導師

2006年02月–2006年04月美國UCLA大學，材料科學系，訪問學者

2005年09月–2005年10月比利時根特大學，訪問學者

2003年09月–2008年07月沐鸣娱乐，信息沐鸣，院長助理、主管外事

2001年11月–2006年03月沐鸣娱乐，微電子學系，副教授

2001年06月–2001年11月沐鸣娱乐，微電子學系，講師

2000年03月–2001年03月比利時根特大學，固態科學系，博士後

學術任職：

IEEE高級會員，美國電化學學會會員

中國化學機械平坦化聯盟（China-CMPUG）副主席（2015-）

中國機械工程學會摩擦學分會微納製造專業委員會副主任委員（2013-）

國際ICPT會議執行委員會委員（2012-）

2016年國際拋光大會ICPT2016程序委員會主席（2016.10.17-19）

2015年9月韓國ADEMTA會議邀請報告，5月海峽兩岸平坦化技術研討會（清華大學）邀請報告、分會主席

2014年 3月CSTIC會議邀請報告、3月TFPM會議主旨報告、8月美國CMP會議（Albany）邀請報告、9月海峽兩岸平坦化技術研討會（臺中）邀請報告；10月ICSICT會議（桂林）分會主席

2013年海峽兩岸平坦化技術研討會（天津）邀請報告、分會主席

2012年10月ICPT會議（法國, Grenoble）邀請報告、分會主席

2011年11月國際ICPT會議（韓國,首爾）分會主席

2011年3月CSTIC會議邀請報告

2011年5月第六屆復旦－諾發銅互連技術國際研討會主席。2004-2008年五屆復旦－諾發銅互連技術國際研討會主席

2010年10月國際集成電路和固態技術會議（ICSICT）分會主席，上海， 2010年1月IEEE國際納米電子學會議INEC （香港）分會主席

2008、2010年第八屆、第十屆國際結技術研討會（IWJT）組織委員會共主席

2006年第六屆國際結技術研討會（IWJT）程序委員會共主席

2004年第四屆國際結技術研討會（IWJT）出版委員會主席，主編“第四屆國際結技術研討會”論文集

2001年編輯“第六屆國際集成電路和固態技術會議”論文集（第三編輯），美國電化學學會雜誌、歐洲Elsevier雜誌（Thin solid films等）、IOP雜誌（Nanotechnology等）、Wiley雜誌、IEEE EDL、美國ACS雜誌、中國半導體學報、中國物理快報等雜誌審稿人

榮譽稱號：

獲得上海市“曙光學者”稱號，2012

獲得“教育部新世紀優秀人才”稱號，2011

獲得“沐鸣娱乐2009年度優秀研究生導師”稱號，2009

獲得“上海高校優秀青年教師”榮譽稱號，2009

沐鸣娱乐陸宗霖獎教金，2008

獲得上海市科委“啟明星跟蹤”人才項目，2008

獲得沐鸣娱乐復華獎教金，並評為“沐鸣娱乐優秀世紀之星”，2005

入選上海市科委“科技啟明星”人才項目，2004

入選上海市教育委員會評選的“2003年度上海高校優秀青年教師後備人選”，2003

沐鸣娱乐“世紀之星”，獲得“教學和科研綜合獎”，2002

科研獲獎：

教育部科技進步三等獎，1999

國際集成電路和固態技術會議上獲“最佳研究生論文獎”，1998